真空分析儀 分析儀
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殘余氣體分析質(zhì)譜儀 PrismaPlus--四級(jí)桿質(zhì)譜分析儀
上海伯東代理德國(guó) Pfeiffer 殘余氣體質(zhì)譜 QMG系列,模塊化設(shè)計(jì),質(zhì)量數(shù)范圍 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。內(nèi)置四極分析儀、四極電子裝置、電源件和Quadera 軟件。殘余氣體質(zhì)譜 QMG系列離子源配備兩組燈絲,適用于多種測(cè)量用途,使用壽命長(zhǎng)。
Pfeiffer 四極質(zhì)譜儀 PrismaPlus 主要優(yōu)勢(shì):
1. 模組化設(shè)計(jì)提供了產(chǎn)品最好的適應(yīng)性
2. 結(jié)構(gòu)緊湊,性能出眾
3. 多種介面,系統(tǒng)集成簡(jiǎn)單
4. 可通過(guò)乙太網(wǎng)網(wǎng)路化
5. 測(cè)試過(guò)程快速穩(wěn)定,解析度高
6. 分析器以及電子的可替換性
7. 雙燈絲設(shè)計(jì)保證最大的可靠性
8. 最低的可檢測(cè)分壓達(dá)1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera®軟體,操作直觀
殘余氣體分析儀 PrismaPlus 技術(shù)參數(shù):
型號(hào) |
QMG 220 F1 |
QMG 220 F2 |
QMG 220 F3 |
QMG 220 M1 |
QMG 220 M2 |
QMG 220 M3 |
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檢測(cè)器 |
法拉第 Faraday (F) |
電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) |
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質(zhì)量數(shù) amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
||||
四極桿直徑/長(zhǎng)度 |
6/100 mm |
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最小檢測(cè)極限 F mbar |
1X10-12 |
2X10-12 |
4X10-12 |
5X10-12 |
1X10-11 |
2X10-11 |
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最小檢測(cè)極限 M mbar |
- |
- |
- |
1X10-14 |
< 2X10-14 |
< 4X10-14 |
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對(duì)Ar的靈敏度 F A/mbar |
1X10-3 |
6X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
3X10-4 |
1.5X10-4 |
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對(duì)Ar的靈敏度 M A/mbar |
- |
- |
- |
200 |
200 |
100 |
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最大工作壓力 F |
1X10-4 mbar |
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最大工作壓力 M mbar |
- |
- |
- |
1X10-5 |
1X10-5 |
1X10-5 |
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對(duì)臨近質(zhì)量數(shù)的影響 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作溫度 F |
150 °C |
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烘烤溫度 F |
200 °C / 300 °C |
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連接法蘭 |
DN 40 CF-F |
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重量 |
2.4 kg |
2.4 kg |
2.4 kg |
3.8 kg |
3.8 kg |
3.8 kg |
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殘余氣體分析質(zhì)譜儀應(yīng)用:四極質(zhì)譜儀 QMG非常適合于檢漏,殘氣分析以及綜合定量分析
1. 冶金 2. 真空爐 3. 加速器 4. 濺射工藝分析 5. 半導(dǎo)體生產(chǎn) 6. 玻璃鍍膜 7. 研發(fā) 8. 真空工藝
上海伯東殘余氣體分析質(zhì)譜儀客戶案例一:分子束外延 MBE 氣體分析
上海伯東殘余氣體分析質(zhì)譜儀客戶案例二:對(duì) XPS 系統(tǒng)的分析室殘余氣體進(jìn)行定性和半定量分析
上海伯東殘余氣體分析質(zhì)譜儀客戶案例三:分析真空釬焊過(guò)程中產(chǎn)生的氣體成分和含量
1.設(shè)計(jì)緊湊
PrismaPlusTM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質(zhì)譜儀。該四極質(zhì)譜儀積累了豐富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn),高靈敏度,高穩(wěn)定性和智慧化操作的完美結(jié)合是 PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀新的優(yōu)點(diǎn)。在適用中客戶將感受到它堅(jiān)固,緊湊的設(shè)計(jì)和簡(jiǎn)單的系統(tǒng)集成,并從中受益。
2.應(yīng)用范圍廣闊
通過(guò)可選擇質(zhì)量數(shù)范圍,檢測(cè)器、離子源和介面介面等,該四極質(zhì)譜儀可以應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域,例如:工業(yè)和分析領(lǐng)域、研發(fā)、檢漏、半導(dǎo)體生產(chǎn)以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀是從品質(zhì)保證,殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應(yīng)用領(lǐng)域的最佳方案。
3.檢測(cè)速度快,靈敏度高
PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀可 以在三個(gè)不同的質(zhì)量數(shù)范圍(1-100,1-200,1-300 amu)內(nèi),下至檢測(cè)極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測(cè)結(jié)果。在真空系統(tǒng)中,配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測(cè)儀,即使很低程度的污染也可以被快速地識(shí)別出來(lái)。除顯示可選擇的分壓外,直接增加一個(gè)壓力量規(guī),PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀就可以作為一個(gè)精確的全壓監(jiān)控器使用。
4.智慧化的軟體
Quadera 軟體不僅操作簡(jiǎn)單,它還提供了捕獲和觀察所有測(cè)試資料以及參數(shù)記錄的易讀平臺(tái)。結(jié)合多種可供選擇的介面介面,例如乙太網(wǎng),數(shù)位式和類比式輸入輸出,可以方便地集成到各種系統(tǒng)中去。輕點(diǎn)滑鼠就可以啟動(dòng)預(yù)設(shè)的功能。
Pfeiffer 氣體質(zhì)譜分析儀:上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部是德國(guó) Pfeiffer 指定銷售維修中心,我司是國(guó)內(nèi)最早代理 Pfeiffer 產(chǎn)品的公司,100% 原裝進(jìn)口并提供 Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品的售后維修服務(wù)。
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :
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公司信息
企業(yè)類型: | 企業(yè)單位 | 主營(yíng)行業(yè): | |
經(jīng)營(yíng)模式: | 貿(mào)易型 | 年?duì)I業(yè)額: | |
員工人數(shù): | 人 | 公司注冊(cè)地: | 上海 |
公司成立時(shí)間: | 0000-00-00 | 聯(lián)系方式: | 上海市外高橋保稅區(qū)希雅路33號(hào)17號(hào)樓B座3層,200131 |
主營(yíng)產(chǎn)品或服務(wù): | 伯東企業(yè)(上海)有限公司主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品:德國(guó) Pfeiffer 真空泵,氦檢漏儀,分子泵,質(zhì)譜儀,真空規(guī)管,真空閥門及美國(guó)Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源,PLD鍍膜機(jī)。伯東公司在上海及深圳設(shè)有維修中心,為客戶24小時(shí)提供所有銷售產(chǎn)品的技術(shù)支持及售后服務(wù)。 |
伯東企業(yè)(上海)有限公司主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品:德國(guó) Pfeiffer 真空泵,氦檢漏儀,分子泵,質(zhì)譜儀,真空規(guī)管,真空閥門及美國(guó)Brooks 旗下CTI Cropump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源,PLD鍍膜機(jī)。伯東公司在上海及深圳設(shè)有維修中心,為客戶24小時(shí)提供所有銷售產(chǎn)品的技術(shù)支持及售后服務(wù)。
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